KIM Hyung Jun , OH il-kwon , Lee Han-Bo-Ram
Abstract
본 발명은 코팅층 형성 방법 및 방수성 코팅 부재에 관한 것으로, 본 발명에 따른 코팅층 형성 방법은 (a) 기판상에 희토류 금속을 포함하는 전구체를 공급하는 단계; (b) 기판상에 희토류 금속이 결합한 후 남은 전구체의 불순물을 퍼징하는 단계; © 기판상에 산화제를 공급하는 단계; 및 (d) 기판상에 희토류 금속 산화물을 포함하는 코팅층이 형성도니 후 남은 불순물을 퍼징하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 코팅층 형성 방법은 코팅층 중의 탄소의 원소 비율이 1% 미안이 되도록 기판의 온도를 조절함으로써, 소수성 혹은 초소수성을 갖는 코팅층을 형성한다.
