초소수성 코팅 부재 및 이의 제조 방법
김형준, 오일권, 이한보람
요약
본 발명은 초소수성 코팅 부재 및 초소수성 코팅 부재의 제조 방법에 관한것으로서, 본 발명에 따른 초소수성 코팅 부재는 3차원 나노 구조를 구비한 기판; 및 3차원 나노 구조 상에 형성되고, 희토류 금속 산화물을 포함하는 코팅층을 포함한다. 본 발명에 따른 초소수성 코팅 부재의 제조 방법은 3차원 나노 구조를 구비한 기판을 준비하는 단계; 및 기판상에 희토류 금속을 포함하는 전구체와, 산화제를 순차적으로 공급하여 3차원 나노 구조 상에 희토류 금속 산화물을 포함하는 코팅층을 형성하는 단계를 포함하며, 코팅층을 형성하는 단계는 코팅층 중의 탄소의원소 비율이 1% 미만이 되도록 기판의 온도를 조절함으로써, 초소수성을 갖는 코팅 층을 형성한다.
