발명자: 이한보람
요약서
본 발명은 이종원소 합금화를 통한 고품질 사중패터닝 물질의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슈퍼사이클 원자층 증착법(Supercycle ALD)을 이용하여 이트륨산화물(Y2O3)을 타이타늄산화물(TiO2)에 도핑시켜 합금화함으로써, 기존 타이타늄산화물(TiO2) 박막의 후속 열처리 공정에 의한 표면거칠기 증가 문제를 해결하여 고품질의 사중패터닝용 물질을 제공할 수 있도록 한 방법에 관한 것이다.
본 발명은 이종원소 합금화를 통한 고품질 사중패터닝 물질의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슈퍼사이클 원자층 증착법(Supercycle ALD)을 이용하여 이트륨산화물(Y2O3)을 타이타늄산화물(TiO2)에 도핑시켜 합금화함으로써, 기존 타이타늄산화물(TiO2) 박막의 후속 열처리 공정에 의한 표면거칠기 증가 문제를 해결하여 고품질의 사중패터닝용 물질을 제공할 수 있도록 한 방법에 관한 것이다.
