선명한 SEM 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법 (특허등록)
발명자: 이한보람
요약
본 발명은 선명한 SEM 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 100℃ 이하의 저온(최저 80℃)에서 샘플 표면에 전도성 금속(예컨대, Pt) 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(예컨대, ALD Pt 공정)을 이용함으로써, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있어 샘플 표면의 변질 내지 이미지 왜곡이 없는 선명한 주사전자현미경(SEM) 이미지를 얻을 수 있고, 고온 처리에 의한 샘플 손상의 우려가 없어 열에 취약한 샘플에도 원활하게 적용이 가능한, SEM 분석용 3차원 구조 비전도성 샘플의 전도성 코팅 방법에 관한 것이다.
본 발명은 선명한 SEM 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 100℃ 이하의 저온(최저 80℃)에서 샘플 표면에 전도성 금속(예컨대, Pt) 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(예컨대, ALD Pt 공정)을 이용함으로써, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있어 샘플 표면의 변질 내지 이미지 왜곡이 없는 선명한 주사전자현미경(SEM) 이미지를 얻을 수 있고, 고온 처리에 의한 샘플 손상의 우려가 없어 열에 취약한 샘플에도 원활하게 적용이 가능한, SEM 분석용 3차원 구조 비전도성 샘플의 전도성 코팅 방법에 관한 것이다.
