반도체 소자 및 이의 제조 방법
김형준, 김수현, 윤재홍, 이한보람
요약
본 발명은 반도체 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 기판; 기판상의 도전성 라인; 및 기판과 도전성 라인 사이의 시드층을 포함하는 반도체 소자로서, 시드층은 코발트 티타늄 나이트라이드를 포함하는 반도체 소자를 개시한다. 본 발명의 실시 예에 의하면, 씨앗층 특성과 확산방지막 특성을 동시에 갖는 다기능성의 단일 박막 시드층에 의하여 배선 공정 비용을 저감할 수 있으며, 반도체 소자 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예에 의하면, 나노화된 소자에 적합한 특성을 가지며, 원자층 증착 공정시 유관 공정에서의 박막 산화를 방지할 수 있는 반도체 소자 및 이의 제조 방법이 제공된다.
